江苏火狐电竞纳米科技股份有限公司

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我们是绿色家园的推动者
我们是科技创新、自立自强的践行者

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国内ALD产品市占率

80

亿＋

在手专用设备订单

100

%+

5年营收复合增长率

江苏火狐电竞纳米科技股份有限公司（简称“火狐电竞纳米”，代码688147.SH）成立于2015年12月，是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED，及MEMS 等泛半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域；主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、光伏电池、硅基微显示、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。

我们的战略

01

面向全球的半导体
泛半导体高端微纳装备制造商

02

ALD技术为核心
CVD等多种真空薄膜技术梯度发展

03

半导体行业内多项设备
关键工艺指标达到国际先进水平

04

光伏行业内提供高效电池技术
与设备的领军者之一

05

ALD产品营收规模方面
位居国内同类企业第一

我们的进展

公司成立-2017.07

公司成立于2015年12月25日
一代机KF4000研制成功，全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域

2017.08-2018.05

KF6000成功在光伏龙头企业通威太阳能完成量产验证
研发以臭氧工艺为核心工艺的KF10000S机型，产能提升至10000片/小时

2018.05-2018.12

夸父（KF）系列在各大光伏头部企业产线开始量产爬坡，公司产品在行业内知名度进一步提升
夸父（KF）原子层沉积设备被评定为“江苏省首台（套）重大装备产品”
启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作，公司实施产品线多元化战略

2019.01-2020.12

推出祝融（ZR）系列PEALD+PECVD二合一设备，首次将PEALD技术应用于光伏领域
半导体领域ALD镀膜设备研发成功，完成多种集成电路关键材料工艺验证，并与客户签订订单
公司进行股份制改造，连续完成两轮融资，并引入多家知名投资机构

2020.12-2022.12

2022年12月23日，公司成功登陆上交所科创板
在光伏领域，公司高端光伏装备陆续获得包括阿特斯、隆基股份、爱旭股份、晶科能源等多家重要光伏客户订单，引领TOPCon高效电池的量产导入，从PERC/PERT进一步向TOPCon乃至HJT/IBC技术延伸
在半导体领域，公司是国内首家成功将量产型High- 𝘬原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司，正式进军逻辑芯片、先进存储、3D-IC等镀膜制造领域

2023.01-至今

半导体领域，公司以 ALD为核心正逐步拓展 CVD 等多种真空技术和产品
光伏领域，公司持续推进以 ALD 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开发
同时依托产业化应用中心平台，探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会

公司成立-2017.07

首台产品研发验证阶段

2017.08-2018.05

下游龙头客户攻坚阶段

2018.05-2018.12

市场与产品突破阶段

2019.01-2020.12

公司加速发展阶段

2020.12-2022.12

公司战略升级发展阶段

2023.01-至今

扩张新兴应用领域

我们在行动

公司先后荣获国家专精特新“小巨人”企业、中国独角兽企业、江苏省小巨人企业（制造类）等荣誉称号，并被认定为江苏省企业技术中心、江苏省工程技术研究中心、江苏省工程研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站等。在不断完善自有研发平台建设、持续巩固自身研发实力的同时，我们与复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳洲新南威尔士大学等知名院校均建立了良好的合作关系，共同推进技术的创新发展。

公司荣誉